ТОМСК, 17 февраля. /ТАСС/. Производство особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титана запущено на площадке Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ) Томского государственного университета (ТГУ). Производство этих двух соединений позволит закрыть основные потребности в них для российских предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектроники, сообщили ТАСС в пресс-службе вуза.
"Бромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, служащих основной для интегральных микросхем. Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 годы химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производства", — приводятся в сообщении слова руководителя проекта, директора Инжинирингового центра высокочистых веществ и материалов микроэлектроники ТГУ, профессора ХФ ТГУ Виктора Сачкова.
Технология была успешно внедрена на площадке малотоннажной химии ИХТЦ. Первые партии продукта уже прошли промышленные испытания на базе отечественных предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектронных устройств и систем.
Еще одна технология, разработанная химиками ТГУ, предназначена для синтеза соединения тетракис(диметиламино)титана, широко известного как TDMAT. Предшественник титана необходим для создания сложных электронных устройств. Он используется для химического осаждения пленок нитрида титана из газовой фазы. TDMAT незаменим при производстве полупроводников, помимо этого, в нем заинтересованы и другие отрасли, например, производители изотопов, оптики, конструкционных покрытий и композиционных материалов.
"Первые партии TDMAT уже отправлены российским предприятиям. В связи с тем, что государство определило развитие микроэлектроники как один из приоритетов, спрос на этот продукт оказался выше, чем на начальной стадии разработки технологии. Тем не менее, ИХТЦ готов произвести столько продукта, сколько понадобится российской промышленности. Внедрение технологий выпуска бромистого водорода и TDMAT электронного качества будет напрямую способствовать появлению качественной российской электроники и её импортонезависимости", — отмечается в сообщении.
